molbox RFM 기준 유량 모니터

molbox RFM Reference Flow Monitors

molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L)

모든 범위

측정 갱신 율

1초

1초

범위

가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지

교정 종류 의존 (molbloc-L 범위 표 참고)

20kPa~200kPa 절대 (3 psia~30psia) 혹은 50kPa ~ 500kPa 절대 (7psia ~ 70psia) 상류

(molbloc-S 범위 표 참고)

분해능

0.01 % FS

측정값의 ± 0.01 %

선형도

10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.23%

10 % FS 이하 ± 0.023 % FS

측정값의 ± 0.25 %

반복성

10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.1%

10 % FS 이하 ± 0.01 % FS

측정값의 ± 0.1 %

정밀도¹

10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25%

10 % FS 이하 ± 0.025 % FS

측정값의 ± 0.3 %

예측 안정도²
1년

10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.15%

10 % FS 이하 ± 0.015 % FS

측정값의 ± 0.2 %

측정 불확도³

10 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5%

10 % FS 이하 ± 0.05 % FS

50kPa~500kPa에서 측정값의 ± 0.5% ±유량의 0.5%

20 kPa ~ 50 kPa 사이에서 50 kPa

molbox RFM with 마이크로레인지 option

molbloc-L (1E1-L ~ 3E4-L)

molbloc-L (1E5 전용)

측정 갱신 율

1초

1초

범위

가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지

교정 종류 의존 (molbloc-L 표 참고)

가스와 molbloc 압력에 따라 molbloc 전체 스케일 까지

교정 종류 의존 (molbloc-L 표 참고)

분해능

0.001 % FS 이하 ± 0.01 % FS

 10 % FS

0.01 % FS

선형도

FS 1%~100% 까지 측정값의 ± 0.23%, FS 1% 이하에서 FS ± 0.0023%

5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25%

5 % FS 이하 ± 0.0125 % FS

반복성

1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.1%

1 % FS 이하 ± 0.001 % FS

5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.2%

5 % FS 이하 ± 0.01 % FS

정밀¹

1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.25%

1 % FS 이하 ± 0.0025 % FS

5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.32%

5 % FS 이하 ± 0.016 % FS

예측 안정도²
1년

1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.15%

1 % FS 이하 ± 0.0015 % FS

5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.2%

5 % FS 이하 ± 0.01 % FS

측정 불확도³

1 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5%

1 % FS 이하 ± 0.005 % FS

5 % ~ 100 % FS에서 측정값의 ±0.5%

5 % FS 이하 ± 0.025 % FS